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WLI LA 白光干涉儀

本儀器比以往的顯微鏡可測面積大得多，使用者需在大測量面積和大數(shù)值孔徑之間進行適當(dāng)平衡。數(shù)值孔徑?jīng)Q定了橫向分辨率和可測量的微觀/宏觀表面傾斜程度。選擇大約1.5 cm2的測量面積代表了***適宜的平衡點。干涉儀可測量大的測量面積使其用來主要進行平面度測量，而對于微觀結(jié)構(gòu)則會獲取太多無效數(shù)據(jù)。本儀器采用數(shù)字式相機，用戶可以選定動態(tài)范圍8-14位的測量范圍，和各種幫助操作者的輔助功能。

應(yīng)用：

·用于表面形狀、平面度和輪廓測量

特點：

·可測量粗糙或光滑表面

·測量結(jié)果不受被測物顏色和材料影響

·幾秒鐘完成測量

·測量面積：14 x 10 mm

· 測量范圍：100 / 150 μm

·橫向分辨率：30 μm

·垂向分辨率：31 nm

·高數(shù)字孔徑

優(yōu)勢：

·快速分析表面構(gòu)造

·平面度評估

·自動數(shù)據(jù)采集和處理

·大的測量面積

技術(shù)參數(shù)：
適用于較大面積平面的表面結(jié)構(gòu)形狀測量
測量頭

·光源 LED

·測量范圍 100/150μm

·垂直分辨率 3 1nm

·橫向分辨率 30μm

·測量面積 13.9 x 10.4[mm]