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創(chuàng)新點(diǎn)

◎的光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)): Auto SE 集成了的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)（技術(shù)），該系統(tǒng)配備在標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振光譜儀中,允許操作者全程觀測樣品光斑，以確保各種類型的樣品都能在完全正確的位置，以合適的光斑尺寸進(jìn)行測量。解決了現(xiàn)有測量技術(shù)中的“盲測”難題。 ◎***鍵式操作，大大提高工作效率。 ◎共焦微光斑技術(shù)： 提供8種不同光斑尺寸的自動選擇。 ◎全自動智能診斷及故障處理：大大減輕了設(shè)備的維護(hù)負(fù)擔(dān)。

  儀器簡介：

       新型的全自動薄膜測量分析工具，工業(yè)化設(shè)計(jì)，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析，并輸出分析報(bào)告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

技術(shù)參數(shù)：

?光譜范圍：450-1000 nm

?多種微光斑自動選擇

?光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面

?CCD探測器

?自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

?70度角入射

主要特點(diǎn)：

?完全自動化設(shè)計(jì)，***鍵式操作，直接報(bào)告輸出
?液晶調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運(yùn)動部件
?CCD探測系統(tǒng)，快速全譜輸出
?多個(gè)微光斑尺寸選擇，可視技術(shù)
?封閉式樣品倉