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◆Ｙ軸采用獲得的燕尾型導(dǎo)軌，提高了測(cè)量機(jī)的精度和重復(fù)性。

◆Ｚ向采取獲得的氣動(dòng)平衡技術(shù)，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)之間的干涉問題，提高了測(cè)量機(jī)的精度和長期穩(wěn)定性。
◆三軸均采用高精度德***ＨＥIＤＥＮＨＡＩＮ光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078µm，同時(shí)采用***端固定，***端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化是的線性伸縮。

◆各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶，確保大行程測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)性和定位的準(zhǔn)確性。

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